未被冷凝下来的氯化氢、氢气、氯气返回氯化氢合成系统，氢气与氯气按一定比例混合，燃烧生成氯化氢，循环使用。

    采用综合回收方法使合成工序开路工艺流程变为闭路循环，提高原材料利用率，降低了原材料单耗，实现了无废气排出，彻底解决了环境污染问题。但是，尾气中含有的微量氯硅烷容易与氯化氢中的水反应生成固体二氧化硅堵塞管道，降低三氯氢硅的收率。

     言赫特气专业经营淄博万达利特种气体公司生产的氯化氢是在淄博齐鲁石化工业园区注册的高新科技企业，淄博万达利只属于北京华宇同方，主要从事新材料技术和化工新技术的研发，以及高新技术产品的生产和销售。公司现设有研发中心、服务中心、市场部、销售总部、氯化氢生产基地、催化剂及其构件生产基地等六大业务部门。